各類真空計性能及參數
2024.06.21
各類真空計性能及參數
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真空計原理 |
名稱 |
量程Pa |
精度 |
反應時間 |
備注 |
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力 |
重力 |
液體真空計 |
汞柱壓力計 |
105~102 |
10% |
幾秒 |
① |
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基準汞柱壓力計 |
104~10(10-1) |
||||||
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油柱壓力計 |
103~10 |
1% |
幾秒至幾分 |
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基準油柱壓力計 |
102~10-2(10-3) |
||||||
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壓縮式真空計 |
103~10-1(10-6) |
＜3% |
幾分 |
①④ |
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機械力 |
變形計 |
彈簧管真空計 |
105~103 |
10% |
幾秒 |
① |
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膜盒真空計 |
105~102 |
＜10% |
幾秒 |
||||
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薄膜電容真空計 |
103~10-2 |
＜1% |
＜1s |
② |
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薄膜應變真空計 |
105~102 |
① |
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阻尼力 |
黏滯計 |
振幅衰減真空計 |
1~10-3 |
10%-100% |
幾秒 |
- |
|
|
磁懸轉子真空計 |
1~10-4 |
- |
- |
- |
|||
|
振膜真空計 |
104~10-1 |
≤±2% |
＜1s |
- |
|||
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分子力 |
熱輻射真空計 |
1~10-5 |
＜10% |
幾秒至幾十秒 |
② |
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氣體分子熱傳導（熱傳導真空計） |
電阻真空計 |
102~10-1(10-2) |
10%~100% |
定溫型約1s |
③ |
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熱偶真空計 |
102~10-1 |
幾秒 |
|||||
|
半導體真空計 |
102~10-3 |
幾秒 |
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|
熱電堆真空計 |
102~10-1 |
- |
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氣體對流 |
對流真空計 |
105~102 |
- |
- |
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氣體電離 |
荷能粒子 |
熱陰計 |
電離真空計 |
10-1~10-5 |
10%~20% |
10-3s |
③ |
|
中真空電離真空計 |
102~10-4 |
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B-A電離真空規(guī) |
10-1~10-8 |
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熱陰磁控計 |
10-5~10-11(10-13) |
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放射源（α）電離真空計 |
104(105)~10-1 |
10% |
0.1s |
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自持放電 |
冷陰計 |
潘寧計 |
1~10-4 |
20%~50% |
0.1s |
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反磁控真空計 |
10-2~10-9(10-11) 10~10-3 |
||||||
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正磁控真空計 |
10-2~10-8 102~10-3 |
||||||
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放電管真空計 |
102~10-1 |
- |
＜1s |
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備注一欄中：
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